Прибор кварцевый измеритель толщины ККТ-40-2 предназначен для измерения толщины и скорости нанесения напыляемых пленок в вакуумных установках типа ВУ1А, ВУ2М либо аналогичных для контроля процесса нанесения пленок ,применяемых для создания оптических тонкопленочных диэлектрических систем. При жестких требованиях к оптическим пленкам, крайне важно максимально держать постоянной скорость осаждения пленок ,особенно при тех процессах ,где используется ионное ассестирование. В процессе нанесения пленки на сенсор изменяется частота собственных внутренних колебаний кварцевой пластинки , что и является мерой толщины напыленной пленки . Для увеличения разрешения ККТ-40-2 измеряет приведенное изменение (период) частоты кварцевой пластинки . ККТ-40-2 имеет разрешение по толщине 1А а по скорости нанесения не хуже 0.2 А/сек.При этом можно использовать кварцевые пластинки собственной частотой колебаний от 4 до 6 Мгц без потери точности измерения .Это гарантируется специальной аппаратной обработкой измеряемого изменения частоты и не влечет за собой увеличения погрешности измерения , как у большинства аналогичных приборов ,жестко привязанных к частоте к примеру 5000000 Гц. Даннные об измерении слоя ,номера слоя и скорости нанесения выводятся на 9-цифровой дисплей .Пользователь перед измерение программирует каждый слой по плотности материала , геометрическому фактору, пороговой толщине пленки ,после достижения которой, будет разомкнуто внутреннее реле (можно отключить систему распыления) .При отключении прибора от сети все настройки прибора сохраняются .
Прибором можно управлять как вручную так и с помощью внешней системы управления через последовательный порт RS-232 либо интерфейс CAN-2B(по заказу)/Скорость связи через com-порт 19200 б. Оптическая развязка на порт не предусмотрена .
Прибор комплектуемся вакуумным токовводом и вакуумным вводом охлаждения ,однопозиционной позолоченной головкой с кварцедержателем и десятью кварцевыми пластинками на частоту 6МГц.
По заказу прибор может быть укомплектован трехпозиционной револьверной головкой с шторкой -модулятором
Прибор управляет внешними устройствами через разьем на задней панели . Контакты размыкаются при достижении пороговой толщины покрытия . Также есть аналоговый выход (0-5) вольт ,взависимости от скорости осаждения (0.1-25.5) А/сек.
С задней панели подается напряжение 12 вольт 0.5А для управления насосом для замкнутой системы охлаждения
По заказу возможно реализовать кварцевый контролер толщины в безкорпусном варианте , где функции управления и визуализации будут возложены на внешнюю систему управления ,компьютер к примеру .
|
| Температура окружающей среды гр.С° | 17-25 |
| Максимальная температура кварцедержателя не более гр.С° | 140 |
| Питающая сеть В/А/Гц | 220±10/10/50 |
| Технологический вакуум в камере не хуже Ра | 1*10(exp-1) |
Безкорпусная версия прибора ККТ-50
Цена прибора договорная