Краткое описание

Ионный источник АИДА-4МА предназначен как для активации поверхности подложки перед нанесением различных покрытий, так и для ассестирования во время нанесения пленки . Ассестирование с ионным источником АИДА-4МА и температурой подложки до 150 гр.С позволяет получить временную стабильность диэлектрических пленок и нечувствительность их оптических характеристик от разности температур и влажности не досягаемой для классической технологии нанесения диэлектрических пленок с электронно-лучевой пушки с температурами подложки 300гр.С. Конденсированные атомы вещества уплотняются атомно-ионным пучком , что значительно увеличивает плотность нанесенной пленки ,улучшает ее оптические характеристики ;показатели преломления , уменьшает рассеяние .Так популярный материал TIO2 получается с показателем преломления 2.33(500) при температуре подложки 45гр.С.при хорошей адгезии .Пленки ZNS при ионном ассестировании получаются очень плотными и стабильными и практическим беспористыми опять же на холодную подложку .Источником можно управлять как вручную так и с помощью внешней системы управления через последовательный порт RS-232 либо интерфейсCAN-2B,USB1.1 (по заказу). Скорость связи через com-порт вплоть до 112 кб. Оптическая развязка на порт не предусмотрена .
Двухуровневая защита от перегрузок , система блокировок.

В комплект ионного источника входит;

Технические характеристики АИДА -4МА
Анодное напряжение В 20-280
Максимальный ток анода А 4.5
Энергия ионов в пучке эв 0-200
Расходометр каналов 2
Требования к условиям эксплуатации
Температура окружающей среды гр.С° 7-30
Питающая однофазная сеть В/А/Гц 220±10/10/50
Температура охлаждающей воды не более гр.С° 20

Цена ионного источника АИДА-4МА договорная

Здесь можно посмотреть работу ионного источника АИДА в камере

На родительскую страничку