Краткое описание

Большой проблемой при нанесении покрытий из электроннолучевых испарителей является кратерообразование в таблетках материала. В результате имеем неравномерность по колпаку , неравномерность в ярусе ,не соответствие напыленной характеристики на свидетеле и детали , отсутствие стабильности нанесения покрытия от цикла к циклу, хотя напыление на свидетель проходит идеально . Процесc напыления таких материалов как SIO2,ZrO2, ZNS и др. очень трудоемок . Блок управления лучом позволяет значительно облегчить работу оператора . Блок встраивается в стандартную стойку управления установок ВУ-1А или ВУ-2М . Заменяя сразу два отдельных штатных блока по обоим осям. С помощью сканирования распылени ZNS происходит равномерно без кратеров . Требуется лишь подстройка высоты катода .